中国工程院院士尤政谈颠覆性技术：MEMS

中国工程院院士、清华大学副校长尤政近日，“千人计划”专家联谊会创意企业家专委会2017年年会在青岛市崂山区举行，100多位“千人计划”专家齐聚青岛崂山，环绕“技术、创业、资本、产业”共商人才与产业发展大计。本次会议中，中国工程院院士、清华大学副校长尤政详尽讲解了颠覆性技术——微机电系统（MEMS），并对青岛市崂山区的创意和创业环境给与了高度评价。最出色的“智能灰尘（SamrtDust）”太湖蓝藻调查过程中，可能会花10万元收集数据，但用于“智能灰尘”有可能几百元、几千元就可以已完成……这个“智能灰尘”，就是中国工程院院士、清华大学副校长尤政所说的微机电系统（MEMS）颠覆性技术，“‘智能灰尘’有多大？总质量5毫克，总体积1.5立方毫米。

”其应用于普遍，如微型厚膜电池、超级电容器、太阳能电池、MEMS传感器等。一个“智能灰尘”的成本只有两块钱，但却具有极大的技术前景。MEMS技术和微电子技术仅次于的区别就是，微电子是二维工艺，微系统是三维架构。“智能灰尘”技术具有无可比拟的特点：微型化、低成本、功耗较低、低可信。

“智能灰尘”重量、尺寸都要小，成本更加较低。有人说道，“智能灰尘”做到小了，就是个玩具，实质上毕竟高精度、高度构建。比如智能子弹将来不必射击，打过来子弹自己击中目标。

“智能灰尘”具有极大的市场潜力。“仅次于的一个市场是智能手机，MEMS技术挽回了手机。智能手机这么好就是因为用了MEMS传感器。

”尤政说道，“如果一个MEMS传感器在一个手机里赚到一块钱，带给的收益多大，大家可以想象。山东知名企业歌尔股份就是通过MEMS技术制作硅麦克风，建构了百亿元的产值。目前，传统驻极体麦克风90%的市场被MEMS技术替代。

物联网由传感器、网络和服务三部分构成，物联网仅次于的费用是传感器。正是有了“智能灰尘”，使传感器等器件的重量更加重，体积更加小，转变了行业的发展。尤政说道，中国制造业就是指2.0上课，3.0普及，4.0样板。

目前国内MEMS技术正在从技术研究渐渐南北产品化，一些企业正在展开研发和利用。清华大学和北京大学在山东淄博设有MEMS中试线，侧重从系统上解决问题。中国市场不应造就核心MEMS技术发展尤政院士回应，中国智能生产机器人是全球仅次于的市场，但目前中国机器人应用于情况令人堪忧。

国内极大市场最后要造就中国核心技术（如MEMS传感器）和中国产品的发展。“在改革开放前三十年，我们没买过一项专利，因为专利是国有的。”尤政勒令院士诉记者，2015年以后，他们有了技术移往院，可以代国家转让技术，从2016年到2017年，一年过程中有8个多亿的资金转化成。

“我们发动了微纳生产、器件与系统协同创意中心，射击我们国家系统的相反设计，从基础研究开始，系统化解决问题。由我们这些单位构成了协同网络，联合培育我们国家MEMS传感器的发展。

同时，也从全世界请求了很多MEMS专家来做到行业顾问。我们做到得较为有特色，MEMS陀螺仪现在可以做0.1度，甚至0.01度也可以做。

我们还有激光雷达，重量约在100克左右。也有芯片上的小火箭，把微型推进器构建进来。另外，我们的MEMS电源和继电器是世界领先水平。

值得一提的是，我们侧重于MEMS在航天的应用于，研发了十分小的MEMS卫星，目前我们有三颗卫星独自太空运营了2年多。”尤政院士说道。

微电子技术时代，只要有一家技术领先的，其他都要关门。而MEMS技术不一样，你能做到这种传感器不代表你能做到那种传感器，对产业化发展获取了机会。尤政院士回应，下一步要充分发挥大企业的产业化起到，希望专精兹小企业的发展，将政府和市场竞争结合，把人才培养、优惠政策和产业核心区结合，为国家MEMS发展修筑一条光明之路。

关于微纳生产、器件与系统协同创意中心9月22日，由清华大学联合发动牵头重新组建的“微纳生产、器件与系统协同创意中心”在清华大学主楼接待厅举办培育启动仪式。清华大学副校长薛其坤，重庆大学副校长李茂国，北京遥测技术研究所所长李艳华等13位协同创意单位代表参加启动仪式，并联合签订“微纳生产、器件与系统协同创意中心”重新组建培育协议。

该中心由清华大学联合，牵头北京大学、上海交通大学、东南大学、重庆大学、天津大学等六所高校发动，联手淄博国家高新区MEMS研究院、陕西宝成航空仪表有限责任公司、中国空空导弹研究院、中国兵器工业集团第二一四研究所、北京遥测技术研究所、中国电子科技集团公司第五十五研究所、中国航天科技集团钱学森空间实验室重新组建培育。该中心目的创新科技体制机制改革，统合国内微米纳米的创意力量和资源，提高高等学校的创新能力，为未来五十年我国在信息和能源等新兴产业以及国防科技方面排在世界奠下基础，为建设创新型国家作出贡献。中心牵涉到微纳器件的相反设计与多学科建模优化、先进设备材料和类似材料的微纳生产、原创的MEMS加工新工艺、微纳器件、系统的构建和测试等研究方向，致力于构成世界领先的微米纳米学术研究制高点，建构一支国家智能微系统技术协同创意团队，研发一批国家急需的高端MEMS器件及系统，竣工世界一流的微纳生产开放平台与人才培养基地。

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